pyrex 7740玻璃基片

pyrex 7740玻璃具有较好的绝缘性、热稳定性和化学稳定性好、容易和硅片键合等特点,在mems中常用来做绝缘层和衬底；7740玻璃上直接溅射金属作为各种微传感器、执行器、rf射频开关的衬底和电极,这比硅片重掺杂并溅射金属电极要经济得多,且工艺比较简单.本公司生产的pyrex 7740玻璃基片经过多种特殊工艺处理能为mems、微流芯片、生物、化学芯片开发、生产提供基片。本公司产品经济实惠，已被多所大学及研究机构使用，欢迎广大客户使用。

2英寸

玻璃外形尺寸

1.直径:50.2土0.6mm
2.厚度:250 -350 μm
3.总厚度变化:≤0.04 mm

4.垂直度：片内矩形对角线相等，公差土0.5mm

5.位置平整度（µm）：0.08