4英寸PYREX7740玻璃基片
品牌 | 厦门福芯 | 型号 | 4英寸 |
种类 | 制作传感器及芯片的一种基材 | 材料 | - |
材料物理性质 | - | 材料晶体结构 | - |
制作工艺 | 多种工艺 | 输出信号 | 一种基材 |
防护等级 | 优等 | 线性度 | -(%F.S.) |
迟滞 | -(%F.S.) | 重复性 | -(%F.S.) |
灵敏度 | - | 漂移 | - |
分辨率 | - |
pyrex 7740玻璃基片
pyrex 7740玻璃具有较好的绝缘性、热稳定性和化学稳定性好、容易和硅片键合等特点,在mems中常用来做绝缘层和衬底;7740玻璃上直接溅射金属作为各种微传感器、执行器、rf射频开关的衬底和电极,这比硅片重掺杂并溅射金属电极要经济得多,且工艺比较简单.本公司生产的pyrex 7740玻璃基片经过多种特殊工艺处理能为mems、微流芯片、生物、化学芯片开发、生产提供基片。本公司产品经济实惠,已被多所大学及研究机构使用,欢迎广大客户使用。
4英寸
玻璃外形尺寸
1.直径:101.6土0.3mm
2.厚度:500土25um
3.ttv<10um
4.双面抛光(镜面)
5.表面粗糙度:<1.5nm(ra)
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